双工件台是什么,双工件台简单介绍? 推荐

丞丞的小猪蹄 阅读:631次 时间:2020-08-15 23:56:13
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双工件台是光刻机的核心技术的一种,下面我们就简单介绍一下双工件台在光刻机中的作用,以及双工件台的工作原理,下面我们一同来了解一下吧,以下内容是由微蓝经验网用户发布双工件台是什么,双工件台简单介绍?希望对于用户有一定帮助,为朋友进行解决疑惑,如若想了解更多相关内容,可以向底部移动了解更多与本教程文章相关解决经验方法!

双工件台是什么,双工件台简单介绍?
双工件台的作用
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    双工件台是在光刻机里面有2个运载晶圆的工件台。2个工件台彼此单独运作,但一起运转,1个工件台里的晶圆做曝光时,另外1个工件台对晶圆做先前准备工作。当曝光成功以后,2个工件台互换位置和职责,这般循环反复做到光刻机的高生产能力。

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    简单说明讲解一下,双工件台就比作人的两只手,一只手从柜子里拿盘子,另一只收准备拿盘子,一只手放下盘子,另一只手拿起盘子,重复此操作,但是双工件台不仅仅是这么简单,他要求稳定性,精准性是极高的。只是这么比方,像咱们非专业人士更好理解。

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